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白光干涉测量在超临界 CO₂设备密封平面度检测中的应用

引言超临界CO₂设备作为能源、化工领域的核心装备，其密封性能直接决定设备运行安全性与稳定性。密封端面的平面度是影响密封效果的关键指标，超临界工况下的高温、高压及介...

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2026

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火电高温主蒸汽阀密封面平面度的白光干涉测量研究

摘要火电系统中，高温主蒸汽阀密封面平面度直接决定蒸汽密封性能，其长期处于高温高压蒸汽工况下，易发生热变形与磨损，导致平面度劣化、蒸汽泄漏。白光干涉测量技术凭借非接...

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2026

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白光干涉仪，芯片金属凸块及Bump Pattern 3D轮廓...

摘要在先进芯片封装与高密度互连制程不断迭代的背景下，芯片金属凸块及Bump Pattern图形化凸点结构日趋微小化、阵列化与精细化。金属凸块与Bump Patte...

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2026

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煤粉/灰渣输送阀密封面平面度的白光干涉测量研究

引言在煤化工、火力发电等工业领域，煤粉/灰渣输送阀是保障物料密闭输送的核心部件，其密封面平面度直接决定密封性能与设备运行稳定性。煤粉、灰渣等介质含硬质颗粒，对密封...

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